
白光干涉儀
樣品要求
1. 樣品要求:塊體尺寸50*50*50mm以下均可;需測磨痕時請告知技術(shù)顧問磨痕長寬數(shù)據(jù);
2. 特別注意:黑色、透明樣品不能測試;要求樣品有一定反光性;每個樣品默認一個測試位置;弧面測試一般沒有粗糙度數(shù)據(jù);
3. 如有其他疑問,請聯(lián)系前期對接的技術(shù)顧問;
常見問題
白光干涉儀的測試原理是什么?
白光干涉儀是利用光學干涉原理研制開發(fā)的超精密表面輪廓測量儀器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分威兩束光,分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光,并由成像系統(tǒng)在CCD相機感光面形成兩個疊加的像。由于兩束光相互干涉,在CCD相機感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差,根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條紋出現(xiàn)的位置解析出被測樣品的相對高度;